銅靶材目前廣泛應(yīng)用于電子、通信、超導(dǎo)、航天等領(lǐng)域，并且銅靶材價格低廉，使得其成為真空鍍膜行業(yè)中的主力軍。由于真空鍍膜行業(yè)的限制，對銅靶材的尺寸和形狀要求嚴(yán)格，因而必須嚴(yán)格把關(guān)銅靶材生產(chǎn)工藝，下面就由凱澤金屬為大家介紹銅靶材的生產(chǎn)工藝。

一、銅靶材加工方法

1、鑄造法

將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，經(jīng)機(jī)械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等，其優(yōu)點(diǎn)是靶材雜質(zhì)含量（特別是氣體雜質(zhì)含量）低，密度高，可大型化；缺點(diǎn)是對熔點(diǎn)和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。

2、粉末冶金法

將一定成分配比的合金原料熔煉，澆注成鑄錠后再粉碎，將粉碎形成的粉末經(jīng)等靜壓成形，再高溫?zé)Y(jié)，終形成靶材，其優(yōu)點(diǎn)是靶材成分均勻。缺點(diǎn)是密度低，雜質(zhì)含量高等，常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。

二、銅靶材加工注意事項

1、銅礦石的分類

煉銅的原料是銅礦石，銅礦石可分為三類。一是硫化礦如黃銅礦、斑銅礦和輝銅礦等。二是氧化礦如赤銅礦、孔雀石、硅孔雀石等。三是自然銅，銅礦石中銅的含量在1%左右的便有開采價值，采用浮選法可以把礦石中部分脈石等雜質(zhì)除去，而得到含銅量較高的精礦砂。

2、粗銅的提純

粗銅再經(jīng)過火法精煉或電解精煉而得到精銅。粗銅火度法精煉，直接生產(chǎn)含銅99.5%以粗銅火法精煉，直接生產(chǎn)含銅99.5%以上的精銅。該法僅適問用于金、銀和雜質(zhì)含量較低的粗銅，所產(chǎn)精銅僅用于對純度要求不高的場答合。粗銅先經(jīng)過火法精煉除去部分雜質(zhì)，澆粗銅先經(jīng)過火法精煉除去部分雜質(zhì)，鑄成陽極，再進(jìn)行電解精煉，產(chǎn)出含銅99.95%以上，雜質(zhì)含量達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的精銅屬。

3、高純度銅材要求

對變形處理后的高純度銅材料進(jìn)行機(jī)械加工，銅靶材加工要求精度高、表面質(zhì)量高，加工成真空鍍膜機(jī)所需的靶材尺寸就可以了，銅靶材與鍍膜機(jī)多以螺紋相連接。有了高純度銅錠作為原材料，對原材料進(jìn)行鍛造、軋制、熱處理等，使銅錠內(nèi)晶粒變細(xì)小、致密度增加以滿足濺射所需銅靶材的要求。

以上就是銅靶材生產(chǎn)工藝詳解，可以看出銅靶材在生產(chǎn)的各個步驟中都有嚴(yán)格的要求，對銅的密度和純度、靶材尺寸和形狀都有精確的數(shù)據(jù)限制。現(xiàn)今電子行業(yè)迅速發(fā)展，銅靶材生產(chǎn)工藝急需提高，寶雞市凱澤金屬材料有限公司在銅靶材的生產(chǎn)上一直嚴(yán)格要求自己，力爭為您提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。歡迎您來電或者留言咨詢。

相關(guān)鏈接